1.2. ВОПРОСЫ ТЕОРИИ. Теория откачки (часть 4)

Необходимо особо подчеркнуть, что в режиме молекулярного течения аэродинамическая проводимость пропорциональна кубу радиуса трубки и обратно пропорциональна квадратному корню из значения молекулярной массы откачиваемого газа, но не зависит ст давления.
Уравнение (1.7) является основным при расчете аэродина-мичекой проводимости отдельных элементов или компонентов системы при молекулярном режиме течения газа. Используя его, можно вычислить полное время откачки системы, если известны аэродинамические проводимости всех элементов. Эффективная скорость откачки Sc в произвольной точке вдоль вакуумной линии определяется уравнением
1/Se = 1/G + 1/SP (1.9)
а эффективная проводимость системы Се (от насоса до рассматриваемой точки) — уравнением
1/С = 1/Ci + 1/С3 + 1/Сз... (1.10)
где индексы 1, 2, 3,... относятся к отдельным компонентам исследуемой системы.
Существенный вклад в проводимость любого отдельного компонента системы вносится так называемой аэродинамиче¬ской проводимостью диафрагмы (выходного отверстия), зада¬ваемой уравнением

Страницы: 1 2