Электрические манометры (часть 2)

Ионизационные манометры. Степень ионизации молекулярного газа пучком ускоренных электронов в про¬странстве между нагретой нитью и положительно заря¬женным электродом может быть оценена количественно измерением тока в отрицательно заряженном (третьем) коллекторном электроде. Преимуществом устройств такого типа выступает обычно их малая инерционность. Измерение давления основано на линейной зависимости между про¬текающим током и давлением газа. Такая зависимость существует при давлениях ниже 10"3 торр, причем область линейности зависит от тока эмиссии нагретой нити и ускоря¬ющего потенциала. Поскольку величина тока одновременно зависит от природы газа, точные измерения требуют калибровки для различных газов. Перед использованием ионизационные манометры необходимо дегазировать. Кроме того их не следует применять в устройствах с давлением выше 10" торр, так как в этом диапазоне давлений даже после весьма кратковременных измерений ионизационные манометры приходится тщательно дегазировать для восстановления точности измерений. Это,

Страницы: 1 2