Диффузионные насосы

В современных диффузионных насосах в качестве рабочей жидкости используются разнообразные синтетические масла с давлением паров при комнатной температуре в диапазоне 10~5—10"* торр. Раньше многие из таких масел были недоста¬точно стабильны химически при рабочих температурах диф¬фузионных насосов, однако в настоящее время эта проблема кажется решенной, поскольку созданы как достаточно устой¬чивые к окислению при комнатных температурах масла (например, на основе нафталина, полифен илового эфира, силиконов), так и масла, устойчивые при контакте с более агрессивными веществами.
Преимуществом масляных диффузионных насосов является и то, что благодаря своей многокаскадной конструкции и высокой (по сравнению с ртутью) молекулярной массе масла они обеспечивают высокую скорость откачки при более высоких давлениях и позволяют получать более глубокий вакуум. В сравнении с ртутными насосами они имеют, однако, два недостатка: 1) в них легче происходит загрязнение рабочей жидкости, что вынуждает чаще сменять ее; 2) при работе с масляными насосами необходимо тщательно следить за воз¬можностью диффузии масла в системы. Эта проблема не так остра в случае использования ртутных насосов, так как во многих случаях следовые количества ртути в главной вакуумной линии не создают осложнений. Для предотвращения диффузии масла в систему многие масляные насосы снабжают лабирин¬тными уплотнениями, однако и это не гарантирует изоляции вакуумной системы. В некоторых случаях применяют охлаж¬даемые ловушки, плотно забитые стекловатой, что увеличивает эффективный объем охлаждаемой области, уменьшает средний пробег и тем самым повышает эффективность конденсации.

Страницы: 1 2 3