Турбомолекулярные насосы
Принцип действия турбомолекулярного насоса основан на простом физическом явлении; частица, столкнувшаяся со значительно более тяжелым движущимся объектом, получает после столкновения дополни¬тельный импульс в направлении движения этого объекта. Полный импульс частицы при этом, естественно, складывается из обычной термической составляющей и импульса, получен¬ного при столкновении. Если в качестве массивного объекта выступают стенки сосуда и давление настолько мало, что течение газа носит молекулярный характер, то столкновения молекул со стенкой будут происходить гораздо чаще, чем столкновения молекул друг с другом. Действие турбомолекулярного насоса сводится именно к такому увлечению газового потока в направлении движения стенки. Современные турбомолскуляр-ные насосы состоят из набора роторов (играющих роль турбин) и статоров, ориентированных таким образом, что они соответ¬ствуют зеркальным отражениям роторов. Каждая отдельная лопасть ротора работает в качестве молекулярного насоса и, несмотря на то что эффективность каждой отдельной лопасти мала (из-за обратной диффузии между ротором и кожухом), современные насосы этого тина, состоящие из более чем 20 роторов, способны создавать вакуум глубиной более 10~10 торр. Турбомолекулярные насосы используются обязательно совмест¬но с форвакуумными насосами, доводящими давление в системе до 10~2 торр, после чего работа турбомолекулярного насоса становится достаточно эффективной.