Labf.ru

Для расчета и монтажа даже простейшей вакуумной линии необходимо знать основы теории молекулярного движения в рассматриваемых системах. Разумеется, мы не ставим своей целью детальное изложение вопросов вакуумной физики, поэтому приводимые ниже формулы и рассуждения являются достаточно простыми. Намного более полное введение в теорию газовых потоков содержится в прекрасном обзоре Душмана [1]. Мы хотим, чтобы читатель получил возмож¬ность оценивать эффективность создаваемых линий в самых общих чертах.
Химические вакуумные линии часто приходится откачи¬вать несколько раз за день, поэтому время достижения рабочего уровня разрежения желательно сократить до предела. Это время, естественно, зависит от многих параметров: общего объема системы, внутренней поверхности, материалов установки, ее чистоты, производительности насосов и аэро¬динамической проводимости всей системы и ее составных частей.
Аэродинамическая проводимость определяется прежде всего характером газового потока: при высоких давлениях обычно преобладает вязкое течение i-аза, а при низких (р < 10 1 торр) — молекулярное течение. Обычно при расчете эффективности вакуумных систем турбулентность течения не учитывается, поскольку она возникает при давлениях, близких к атмосфер¬ному. Как правило, если при вязком течении газа достигается достаточная эффективность работы системы, то эта эффектив¬ность сохраняется и при турбулентном течении.

Страницы: 1 2