Турбомолекулярные насосы
Основным недостатком описываемых насосов является их недостаточная эффективность при откачке газообразного водо¬рода, что обусловлено принципиальными особенностями кон¬струкции и механизма действия. Дело в том, что скорость откачки турбомолекулярного насоса пропорциональна квадрат¬ному корню из величины молекулярной массы эвакуируемого газа. На практике этот недостаток во многих исследованиях не играет важной роли даже в тех случаях, когда давление в системе создается водородом на уровне 10"* торр. В области давлений 10~3—10~4 торр турбомолеуклярные и диффузионные насосы (при одинаковом форвакуумном давлении) почти не различаются по скорости работы, однако можно отметить, что скорость откачки диффузионных насосов менее чувствительна к эффективности форвакуумного насоса. С другой стороны, турбомолекулярные насосы не требуют разогрева и начинают работать на полную мощность, как только форвакуумный насос доводит давление в откачиваемом объеме до 10 1 торр или ниже.
Турбомолекулярные насосы в отличие от диффузионных можно включать последовательно между форвакуумным насо¬сом и системой. Имеющиеся в продаже насосы этого типа обычно снабжены предохранительным устройством, отключа¬ющим насос и срабатывающим, как только сопротивление системы (например, из-за повышения давления) снизит ско¬рость вращения насоса примерно до уровня 90% от максимума. Эта мера предосторожности обусловлена тем, что при высоких скоростях и давлениях система охлаждения перестает справ¬ляться с тепловыделением, в результате чего насос может быстро перегреться. Детали турбомолекулярного насоса, контактирующие с откачиваемым газом, обычно изготавливают из высококаче¬ственной нержавеющей стали. В целом турбомолекулярные насосы весьма надежны, удобны в эксплуатации и требуют минимального обслуживания при соблюдении обычных мер предосторожности против попадания в насос высокоагрессивных веществ (способных вызвать коррозию нержавеющей стали) и посторонних частиц