Labf.ru

Манометр с холодным катодам. Принцип работы манометров с холодным катодом (иногда их называют также ионизационными манометрами Филлипса или манометрами Пеннинга) связан с процессами, возникающими при наложении высоковольтного напряжения между электродами в газоразряд¬ных лампах. Помещая такую лампу в поле сильного постоянного магнита, можно легко добиться, чтобы электроны двигались от катода к аноду по спирали, что значительно усиливает вероятность ионизации молекул электронами и позволяет измерять "усиленный" ток ионизации при низких давлениях вплоть до 10"* торр.
Избыточный ток обычно индуцируется при давлениях, превышающих 10"3 торр, и измерительная электроника таких приборов включает обычно "отсекающий" механизм для защиты их цепей. При очень низких давлениях зависимость между током и давлением теряет линейный характер. Аналогично прочим электрическим вакуумметрам холодный катодный вакуумметр является "газозависимым", поэтому его надо тщательно калибровать для точных измерений.