Labf.ru

Манометры Бурдона изготавливаются также из стекла и кварца. Два типа таких манометров (мембранный и спираль¬ный) показаны на рис. 2.12. Первый из них снабжен полой мембраной, формой и размерами напоминающей чайную ложку, искривленные поверхности которой и являются элемен¬тами, воспринимающими давление. К "ручке" ложки прикреп¬лена длинная стрелка, позволяющая значительно усиливать смещения, возникающие при изменениях кривизны поверхно¬сти из-за изменения разности давлений вггутри и снаружи мембраны.
Спиральный манометр содержит полую стеклянную или кварцевую спираль, один конец которой закреплен и открыт в сторону вакуумной линии. Другой конец спирали закрыт и при изменении разности внутреннего и внешнего давлений вся спираль сжимается или расширяется, что регистрируется и усиливается механическим или оптическим методом.
Оба типа манометров Бурдона предназначены для работы п системах с агрессивными газами. Чаще всего их используют в качестве так называемых нуль-инструментов. 8 некоторых промышленно выпускаемых образцах для усиления механиче¬ского движения мембраны применяют электрические схемы с емкостными или индуктивными элементами, которые удобны Для работы в дифференциальном режиме и позволяют измерять разности давлений порядка 10"г торр.Промышленность изготавливает разнообразные электроме-ханические вакуумметры, известные как датчики давления. Большинство из них работает по следующему принципу. Гибкая металлическая диафрагма разделяет две камеры; одна камера соединена с пространством, в котором измеряется давление (контролируемое пространство), другая — с пространством сравнения, в котором давление может и регулироваться и измеряться. Выгибание мембраны, происходящее благодаря разности давления, действующего на различные ее части, изменяет емкость конденсатора. Если пространство сравнения откачено до минимально достижимого давления, то калибровка емкости конденсатора как функции давления в тестируемом пространстве может дать непосредственную величину давления. Тем не менее для многих целей предпочтительно использовать инструмент как нулевой репер путем выравнивания давления в обеих камерах — состояние нулевой деформации диафрагмы.

Страницы: 1 2